感光性干膜"Photec"—激光直描成像用RD系列

感光性干膜

RD系列适合激光直描成像(直接绘制)方式,依靠高感光度・高解析度的特性,且具有高图像对比性,可有效提升生产效率。


特点

RD1200系列

  • 代表性干膜型号:RD-1215/RD-1219/RD-1225。

  • 适用于DLP/UV-LDI曝光系统,具有高图像对比性。

  • 具有高解析度,高密着性的特性。

  • L/S=8/8μm(RD-1225,使用Orbotech(奥宝电子)Paragon-Ultra/ HITACHI VIA MECHANICS(日立维亚机械)DE-6UH)

  • 显影后干膜侧壁陡直,可形成优良的线路。


曝光
DE-1UH(405nm)
显影时间(sec)
18
显影后的干膜侧壁

L/S=6/6um
电镀后的线路侧壁

L/S=6/6um

RD-1215显影后和电镀后的线路侧壁(测试数据中的一例)


*本文章中的数据是在力森诺科集团的实验条件下所测得的结果。